碳化硅裝備

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產(chǎn)品

連續(xù)加料直拉單晶爐 CCz

主要技術(shù)指標(biāo) 1、整機(jī)尺寸:(LWH)2000X2300X10800m; 2、主腔室內(nèi)徑1400mm，副爐室內(nèi)徑350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz熱。衫10英寸以下直徑的晶體; 3、加熱方式:電阻加熱，DC電源Pmax=150:50Kw，頻率50Hz;

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碳化硅裝備

數(shù)控滾磨機(jī) LQ003PF

主要技術(shù)指標(biāo) 1、加工晶棒直徑:4~8英寸 2、加工晶棒長度:≤400mm 3、橢圓度:≤0.05mm

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碳化硅裝備

數(shù)控平面磨床 LQ016/LQ018

設(shè)備優(yōu)勢(shì) 主要部件均采用知名品牌,穩(wěn)定性高,耐用性強(qiáng)。 采用精度P3級(jí)滾珠絲桿傳動(dòng),精度高。 鑄件采用高等級(jí)灰口鑄鐵,具有更好的抗彎及抗扭應(yīng)力。 可選配三級(jí)過濾水箱或紙帶式過濾器,保持切削液清潔，提高加工性能及刀具壽命,減少環(huán)境污染。 硬軌全人工刮研,導(dǎo)軌貼合面采用貼塑處理,降低阻尼系數(shù),提高機(jī)床精度。 可選配常規(guī)、密集型以及一體式電磁吸盤,通用性強(qiáng)。

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碳化硅裝備

碳化硅感應(yīng)生長爐

設(shè)計(jì)優(yōu)點(diǎn) 1、滿足6吋/8吋晶體生長; 2、一鍵智能啟動(dòng)，減少人工干預(yù)，利于規(guī)模化生產(chǎn); 3、PVT-MF-50型碳化硅感應(yīng)式長晶爐適用于生長高質(zhì)量六吋碳化硅單晶、高純度碳化硅原料合成、晶體退火等領(lǐng)域。

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最新產(chǎn)品

單刀頭環(huán)線反切截?cái)鄼C(jī) QDHA35100