寬度可調布局通透

去除擴散后硅片背面及邊緣的PSG，防止PN結短路。背面拋光處理，提升鈍化效果。

產品特點

寬度可調

料臺歸正寬度可調，兼容更多規格的硅片，為后續硅片更大產能改造提供了預留窗口。

布局通透

設備布局前后通透，給設備使用者提供了最大的便捷性。

精準補液

補液系統采用PFA材質高精度計量。

穩定傳動

傳動系統高穩定性，有效降低了設備后續維護保養難度。

強力風機

搭配高功率高壓鼓風機，動力強勁。

高效過濾

風機前后中配置高效空氣過濾，潔凈度有保證。

便捷保養

過濾器采用快拆結構，后期保養簡單、便捷。

功能	去除背面PSG和拋光處理
產能	去PSG 12道產能≥14500PCS/H(182) 去PSG 12道產能≥12500PCS/H(210) 槽式拋光≥14500PCS/h(6籃182);≥11500PCS/h(4籃182) 槽式拋光≥12000PCS/h(6籃210);≥9600PCS/h(4籃210) 碎片率≤0.01%, Uptime≥98% 速度：1-4.5m/min可調
優勢	1.閉環運動控制系統，保證輸送機構運動平穩性 2.拋光槽：上表面采用水膜保護及滾輪帶液方式，完整的保護正面的同時，對背面作拋光處理 3.烘干槽：采用高壓風機+高效過濾器的方式，鏈式去PSG+槽式堿拋設備，設備產能大，穩定性好 4.進口PLC控制，穩步提升設備的產能 5.慢提拉采用機械臂慢提方式，設備滿足干濕分離，匹配高效電池發展趨勢 6.可配套無金屬化制程設備，提高設備潔凈度 7.工藝槽采用經典的內外槽循環模式，能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分攪拌均勻，槽內控溫精度誤差<±1℃